Semi-conducteurs
Applications innovantes
La gestion thermique rapide et extrêmement précise de watttron permet une régulation exacte de la température jusqu’au domaine sub-kelvin.
Full Contact Wafer Probing
Régulation thermique à résolution spatiale, même avec des sources de chaleur externes
Avantages
- Maintien précis de la température même avec des sources de chaleur externes
- Haute densité de puissance de 180 W/cm²
- Mesure de température intégrée à résolution spatiale
- Temps de réaction courts grâce à une masse thermique très faible
Post Exposure Bake
Chauffage et refroidissement avec une homogénéité de température élevée
Avantages
- Plaques chaudes et froides pour le PEB
- Combinaison de plaques chaudes et froides en raison des faibles masses thermiques
- Conditions thermiques homogènes de moins de 0,1 °C, indépendamment de la taille
- Chauffage et refroidissement avec une homogénéité de température élevée
Hybrid and Thermocompression Bonding
Systèmes de régulation thermique avec des taux de chauffage et de refroidissement rapides
Avantages
- Vitesse de chauffe extrêmement rapide de 850 °C/s
- Vitesses de refroidissement rapides avec refroidissement par air de 100 °C/s
- Pressions admissibles élevées
- Boucle de régulation fermée avec une fréquence de régulation de 100 Hz
Warpage Correction
Systèmes thermiques pour la correction de la déformation
Avantages
- Correction du gauchissement par le profil de température
- Gradients de température élevés de plus de 250 °C sur une distance de 1 cm
- Boucle de régulation fermée
Glass Panel Processing
Avantages
- Solutions de régulation thermique homogène jusque dans les moindres recoins
- Haute homogénéité de température jusqu’au bord de moins de 0,1 °C
- Large plage de température de -40 °C à 700 °C
La gestion thermique intelligente de watttron
La gestion thermique intelligente de watttron est un système de régulation thermique innovant qui permet un contrôle précis et localisé de la température grâce à un agencement d’éléments thermoélectriques contrôlables individuellement. Les pixels chauffants sont simultanément des capteurs de température et permettent une régulation en temps réel de la distribution thermique. Cette technologie innovante a été initialement développée pour la transformation des plastiques dans le secteur de l’emballage grand public et convient idéalement aux applications de semi-conducteurs nécessitant une gestion thermique de haute précision. Par exemple, lors du traitement des wafers ou de la fabrication de composants microélectroniques, une régulation exacte de la température est d’une importance cruciale pour garantir la qualité du produit et le rendement.
Caractéristiques clés de la gestion thermique intelligente
Vitesses de refroidissement rapides :
en combinaison avec des éléments de refroidissement (actuellement principalement par eau) jusqu’à 100 K/s
Vitesses de chauffe extrêmement élevées :
jusqu’à 850 K/s grâce à la faible masse thermique du pixel chauffant
Contrôle précis de la température :
Maintien d’une précision de température de 0,1 K pour chaque pixel, même en cas de changements dynamiques de température
Large plage de température :
de 35 °C (ou plus froid, en combinaison avec un système de refroidissement) jusqu’à 700 °C
Gradients de température extrêmement élevés :
en combinaison avec le refroidissement, il est possible d’atteindre et de maintenir une différence de température permanente de 280 K sur une distance de 1 cm
Haute densité de puissance :
jusqu’à 180 W/cm²
Matériaux inertes :
le système de matériaux a été conçu pour présenter de faibles caractéristiques de dégazage, ce qui le rend adapté aux salles blanches et à l’UHV
Surveillance du processus en ligne :
la surveillance continue de la puissance électrique nécessaire au maintien de la température définie de chaque pixel chauffant permet de détecter les dérives du processus
Fonctionnalités extensibles :
les éléments chauffants étant développés en interne, il est possible d’intégrer des fonctions supplémentaires telles que des micro-actionneurs ou des VIAs
Évolutivité :
grâce au concept modulaire, les systèmes de chauffage sont adaptables à différents outils et tailles d’appareils. Taille typique d’un pixel chauffant : carré de 5 mm × 5 mm, bien que d’autres formes et tailles soient possibles
Contrôle en temps réel :
des capteurs de température intégrés et proches du processus garantissent des conditions de processus constantes
Matériel de commande intégré :
fonctionnement via une interface utilisateur (GUI) ou des protocoles tels que EtherNet/IP, ModbusTCP, MQTT, ProfiNet
Système complet :
comprenant l’élément chauffant, l’unité de commande et l’interface utilisateur pour un fonctionnement fluide
Support mondial :
un service fiable, où que vous soyez
