Halbleiter
Innovative Anwendungen
Das schnelle und äußerst präzise thermische Management von watttron erlaubt eine exakte Temperaturregelung bis in den Sub‑Kelvin‑Bereich.
Full Contact Wafer Probing
Ortsaufgelöste Temperierung auch bei externen Wärmequellen
Vorteile
- Präzise Temperaturhaltung auch bei externen Wärmenquellen
- Hohe Leistungsdichte von 180 W/cm²
- Integrierte, ortsaufgelöste Temperaturmessung
- Kurze Reaktionszeiten durch sehr kleine thermische Masse
Post Exposure Bake
Aufheizen und Abkühlen mit hoher Temperaturhomogenität
Vorteile
- Hot und cold plate für PEB
- Kombinierung von hot und cold plate auf Grund von geringen thermischen Massen
- Homogene thermische Bedingungen größenunabhängig von unter 0.1 °C
- Aufheizen und Abkühlen mit hoher Temperaturhomogenität
Hybrid and Thermocompression Bonding
Temperiersysteme mit schnellen Aufheiz- und Abkühlraten
Vorteile
- Extrem schnelle Aufheizrate von 850 °C/s
- Schnelle Abkühlraten mit Luftkühlung von 100 °C/s
- Hohe zulässige Drucke
- Geschlossenes Regelkreis mit 100 Hz Regelfrequenz
Warpage Correction
Thermische Systeme für die Verzugskorrektur
Vorteile
- Durch den Temperaturprofil den Verzug korrigieren
- Hohe Temperaturgradienten von über 250°C auf einer Strecke von 1 cm
- Geschlossener Regelkreis
Glass Panel Processing
Vorteile
- Homogene Temperierlösungen bis in die letzte Ecke
- Hohe Temperaturhomogenität bis an Rand von unter 0.1°C
- Breiter Temperaturbereich von -40°C bis 700 °C
watttrons intelligentes thermisches Management
Das intelligente thermische Management von watttron ist ein innovatives Temperiersystem, das eine präzise, lokal gesteuerte Temperaturregelung durch eine Anordnung aus individuell steuerbaren Thermoelementen ermöglicht.. Die Heizpixel sind gleichzeitig Temperatursensoren und ermöglichen eine Echtzeitregelung der Temperaturverteilung. Diese innovative Technologie wurde ursprünglich für die Kunststoffverarbeitung im Bereich Verbraucherverpackungen entwickelt und eignet sich ideal für Halbleiteranwendungen, die ein hochpräzises thermisches Management erfordern. Beispielsweise ist bei der Waferverarbeitung oder der Fertigung mikroelektronischer Komponenten eine exakte Temperaturregelung von entscheidender Bedeutung, um die Produktqualität und den Ertrag sicherzustellen.
Schlüsselmerkmale des intelligenten thermischen Managements
Schnelle Abkühlraten:
in Kombination mit Kühlelementen (derzeit hauptsächlich Wasserkühlung) bis zu 100 K/s
Extrem hohe Aufheizraten:
aufgrund der geringen thermischen Masse des Heizpixels bis zu 850 K/s
Präzise Temperaturführung:
Beibehaltung einer Temperaturgenauigkeit von 0.1 K für jedes Pixel, auch bei dynamischen Temperaturwechseln
Breiter Temperaturbereich:
von 35 °C (oder kälter, in Kombination mit einem Kühlsystem) bis zu 700 °C
Extrem hohe Temperaturgradienten:
in Kombination mit Kühlung ist es möglich, einen dauerhaften Temperaturunterschied von 280 K über eine Distanz von 1 cm zu erreichen und halten
Hohe Leistungsdichte:
bis zu 180 W/cm²
Inerte Materialien:
das Materialsystem wurde so konzipiert, dass es geringe Ausgasungscharakteristika aufweist, was es für Reinräume und UHV geeignet macht
In-line Prozessüberwachung:
die kontinuierliche Überwachung der elektrischen Leistung, die zur Aufrechterhaltung der vorgegebenen Temperatur jedes Heizpixels benötigt wird, ermöglicht die Erkennung von Prozessabweichungen
Erweiterbare Funktionalitäten:
da die Heizelemente in-house entwickelt werden, besteht die Möglichkeit, zusätzliche Funktionen wie Mikroaktuatoren oder VIAs zu integrieren
Skalierbarkeit:
dank des modularen Konzepts sind die Heizsysteme an verschiedene Werkzeuge und Gerätegrößen anpassbar. Typische Größe eines Heizpixels: quadratisch 5 mm × 5 mm, jedoch auch andere Formen und Größen möglich sind
Echtzeitsteuerung:
integrierte, prozessnahe Temperatursensoren gewährleisten konstante Prozessbedingungen
Integrierte Steuerungshardware:
Betrieb über Benutzeroberfläche (GUI) oder Protokolle wie EtherNet/IP, ModbusTCP, MQTT, ProfiNet
Vollständiges System:
inklusive Heizelement, Steuereinheit und Benutzeroberfläche für einen nahtlosen Betrieb
Weltweiter Support:
zuverlässiger Service, egal wo Sie sind
